Συγκρίνοντας το ερωτηματολόγιο που χρησιμοποιήθηκε κατά την απογραφή του 2001 με αυτό του 1991, δεν καταγράφονται αλλαγές στο είδος των ερωτήσεων και στις πληροφορίες που συγκεντρώθηκαν. Μόνη καινοτομία αποτέλεσε το ειδικά σχεδιασμένο για αλλοδαπούς ερωτηματολόγιο προκειμένου να συγκεντρωθούν συγκεκριμένες πληροφορίες σχετικά με την ηλικία, την κατά φύλο και εθνικότητα σύνθεση του πληθυσμού και να εντοπισθούν ορισμένα βασικά κοινωνικά χαρακτηριστικά τους, όπως η οικογενειακή κατάσταση, η κύρια αιτία εισόδου και η διάρκεια παραμονής στην Ελλάδα. Τέτοιο ειδικό για αλλοδαπούς ερωτηματολόγιο δεν χρησιμοποιηθηκε στην απογραφή του 2011.